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金剛石在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

編輯:huifeng      瀏覽:3031      發(fā)布日期:2021-11-23



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金剛石的“高貴”

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說(shuō)起“Diamond”給人第一印象是什么?

無(wú)疑是高貴優(yōu)雅,晶瑩剔透,尤其對(duì)于女性來(lái)說(shuō)鉆石是充滿誘惑的,正如1948年戴比爾斯經(jīng)典廣告所宣傳“The diamond is forever”,又有誰(shuí)不會(huì)注意到鉆石的閃光呢。

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圖1 金剛石的光彩奪目


金剛石的“閃光點(diǎn)”


金剛石被認(rèn)為世界上最堅(jiān)硬的物質(zhì),這就賦予了其在工業(yè)領(lǐng)域中重要地位,例如用于切割、研磨等。同樣,在新型應(yīng)用領(lǐng)域,金剛石依然十分優(yōu)秀,在高頻大功率器件、光學(xué)窗口、高能粒子探測(cè)器、量子信息、生物傳感器等領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用潛力。尤其隨著微電子行業(yè)的發(fā)展,在經(jīng)歷了第一代半導(dǎo)體材料鍺、硅,第二代半導(dǎo)體材料InP、GaAs,第三代半導(dǎo)體材料SiC、GaN之后,人們逐漸將目光聚焦到具有更大禁帶寬度的氧化鎵、金剛石、氮化鋁等超寬禁帶半導(dǎo)體材料上,金剛石半在導(dǎo)體器件領(lǐng)域綻放光芒。


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金剛石憑什么那么強(qiáng)大

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金剛石是一種超寬禁帶半導(dǎo)體材料,其禁帶寬度為5.5 eV,比GaN、SiC等寬禁帶半導(dǎo)體材料還要大。如下表所示,金剛石禁帶寬度是Si的5倍;載流子遷移率也是Si材料的3倍,理論上金剛石的載流子遷移率比現(xiàn)有的寬禁帶半導(dǎo)體材料(GaN、SiC)也要高2倍以上,同時(shí),金剛石在室溫下有極低的本征載流子濃度。并且,除了最高硬度以外,金剛石還具有半導(dǎo)體材料中最高的熱導(dǎo)率, 為AlN的7.5倍,因此金剛石也被業(yè)界稱為“終極半導(dǎo)體”材料。在高頻、高功率、高溫電子器件,核輻射探測(cè)器、光電器件、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域表現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。正是這些閃光點(diǎn),讓它在眾多半導(dǎo)體器件材料中脫穎而出。


因此,金剛石是一種極具魅力的納米微機(jī)電系統(tǒng)材料,在半導(dǎo)體領(lǐng)域具有極其重要的地位。



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